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关于PECVD工序标准物质的使用

2016-12-16 11:54:08来源:Solarzoom光伏太阳能网浏览: 评论:0

  关于标准物质,大家都知道在计量时是做标准件使用的,但是本文中讲到的标准物质将这一标准物质进行了详细化。

  例如在PECVD工序主要操作是使用机器手进行工作,因此所提及的标准物质为标准机械手、标准石墨舟及标准上料小车三部分。

  众所周知,机械手会有相应的准确度,在使用一段时间后,会由于使用的原因会造成一定的偏差,因此会造成在上料过程中夹石墨舟会倾斜,造成摔片现象。因此需要对机械手进行定期的校正,但是由于技术方面的问题,我们不能总是去调整机械手,所以我们将问题转向方便调整的石墨舟及上料小车上。

  石墨舟在使用的过程中,不会造成什么大的问题,主要是其载体的问题,那就是上料小车。

  上料小车在使用一段时间后会与机械手形成匹配不良,导致在上料的过程中出现各种问题,导致整体的上料质量指标波动。

  首先,上料小车在使用时会由于使用的原因会造成小车的不平稳,导致小车上石墨舟的位置偏移;再次,由于操作小车的人员不同,因此也会对机械手有不同的影响。

  由于是一台机械手对应多台上料小车,因此我们采取对小车进行规范的方法。

  一、我们制定标准小车(注:此小车并不是理想状态下各方面参数均为最规范的小车,而是任一小车,主要是调整机械手与其对应关系)。并将石磨舟放置在小车上的位置及方向进行定位,我们将其定义为标准,并以此来调整机械手,保证机械手在此小车和石墨舟的位置为最佳上料位置。

  二、将小车的高度及地面的存放位置进行规定,采用8S标准定位方法,避免由于小车的高度位置等低级问题导致的上料时的摔片现象。

  三、以此小车为标准,调整其他对应该机械手的小车,保证其标准小车的标准作用的发挥。

  四、对机械手进行定期调试,保证机械手与小车的匹配性。

  五、对所有小车进行定期保养维护,保证小车的标准一致性。

  通过上述我们措施的实施,有效的减少了上料过程中的摔片现象及对石磨舟的影响。

  通过此案例,我们还在其他工序对标准物质进行了制定,如在PE工序对不同颜色的片子进行分类,在印刷前就对问题片进行分类,可以降低生产成本,及在印刷过程中造成的资料浪费。并在印刷工序增加标准色板的电池片,保证分色时能实现目视化,减少了色差问题出现在概率。

 

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